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空氣能熱泵:半導體企業(yè)超純水恒溫的“新寵”
來源:http://m.8vr.com.cn/news1057310.html 添加時間:2025/1/13 9:35:00
 

       在半導體制造領域,超純水的溫度控制對生產工藝和產品質量至關重要。哪怕是極其微小的水溫波動,都可能引發(fā)芯片蝕刻不均、光刻偏差等問題,嚴重影響產品良品率。傳統(tǒng)恒溫手段能耗高、穩(wěn)定性差,難以滿足半導體企業(yè)日益嚴苛的需求。在此背景下,空氣能熱泵憑借其優(yōu)勢,成為超純水恒溫系統(tǒng)的理想選擇。

       空氣能熱泵遵循逆卡諾循環(huán)原理,通過壓縮機做功,高效搬運空氣中的熱量。制冷時,它從室內超純水系統(tǒng)吸收熱量排到室外;制熱時則相反,從室外低溫空氣中提取熱量傳遞給超純水 。這種工作方式使它具備好的節(jié)能特性,能效比遠超傳統(tǒng)設備,能為企業(yè)節(jié)省大量電費。同時,它運行穩(wěn)定,受環(huán)境溫度變化影響小,可保障超純水溫度的恒定。


       以某半導體企業(yè)為例,其超純水恒溫系統(tǒng)配備了2噸的緩沖水箱,用于穩(wěn)定水量、減少水溫波動。選用的空氣源冷暖熱泵一體機,冬季制熱量達70KW,夏季制冷量65KW,充分考慮了機組工作時長和管道損耗。另外還配備3只9KW的電加熱作為備用,確保特殊情況下系統(tǒng)正常運行。


       系統(tǒng)采用間接換熱方式,超純水與熱泵循環(huán)熱媒通過熱交換器進行熱量傳遞,避免了超純水被污染,還能精準控溫。溫度傳感器實時監(jiān)測水溫,反饋給控制系統(tǒng),自動調節(jié)熱泵和電加熱設備,將水溫穩(wěn)定在25℃左右。

       實際應用效果顯著。該空氣能熱泵超純水恒溫系統(tǒng)將水溫精準控制在目標范圍,極大提升了生產工藝穩(wěn)定性。企業(yè)產品良品率提高了約10% - 15%,因水溫問題導致的次品大幅減少。節(jié)能方面,相較于舊系統(tǒng),能耗降低約35%,每年為企業(yè)節(jié)省數(shù)十萬元電費。


       空氣能熱泵在半導體企業(yè)超純水恒溫系統(tǒng)中的成功應用,展現(xiàn)出其價值。隨著技術不斷進步,它有望在半導體及更多對溫度控制要求極高的行業(yè)廣泛應用,助力產業(yè)邁向高質量發(fā)展。

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